一、晶圓處理制程
晶圓處理制程之主要工作為在硅晶圓上制作電路與電子組件(如晶體管、電容體、邏輯閘等),為上述各制程中所需技術(shù)最復(fù)雜且資金投入最多的過程 ,以微處理器(Microprocessor)為例,其所需處理步驟可達(dá)數(shù)百道,而其所需加工機(jī)臺(tái)先進(jìn)且昂貴,動(dòng)輒數(shù)千萬一臺(tái),其所需制造環(huán)境為為一溫度、濕度與 含塵量(Particle)均需控制的無塵室(Clean-Room),雖然詳細(xì)的處理程序是隨著產(chǎn)品種類與所使用的技術(shù)有關(guān);不過其基本處理步驟通常是晶圓先經(jīng)過適 當(dāng)?shù)那逑矗–leaning)之后,接著進(jìn)行氧化(Oxidation)及沈積,最后進(jìn)行微影、蝕刻及離子植入等反復(fù)步驟,以完成晶圓上電路的加工與制作。
二、晶圓針測(cè)制程
經(jīng)過Wafer Fab之制程后,晶圓上即形成一格格的小格 ,我們稱之為晶方或是晶粒(Die),在一般情形下,同一片晶圓上皆制作相同的芯片,但是也有可能在同一片晶圓上制作不同規(guī)格的產(chǎn)品;這些晶圓必須通過芯片允收測(cè)試,晶粒將會(huì)一一經(jīng)過針測(cè)(Probe)儀器以測(cè)試其電氣特性, 而不合格的的晶粒將會(huì)被標(biāo)上記號(hào)(Ink Dot),此程序即 稱之為晶圓針測(cè)制程(Wafer Probe)。然后晶圓將依晶粒為單位分割成一粒粒獨(dú)立的晶粒,接著晶粒將依其電氣特性分類(Sort)并分入不同的倉(Die Bank),而不合格的晶粒將于下一個(gè)制程中丟棄。
三、IC構(gòu)裝制程
IC構(gòu)裝制程(Packaging)則是利用塑料或陶瓷包裝晶粒與配線以成集成電路(Integrated Circuit;簡(jiǎn)稱IC),此制程的目的是為了制造出所生產(chǎn)的電路的保護(hù)層,避免電路受到機(jī)械性刮傷或是高溫破壞。最后整個(gè)集成電路的周圍會(huì)向外拉出腳架(Pin),稱之為打線,作為與外界電路板連接之用。
四、測(cè)試制程
半導(dǎo)體制造最后一個(gè)制程為測(cè)試,測(cè)試制程可分成初步測(cè)試與最終測(cè)試,其主要目的除了為保證顧客所要的貨無缺點(diǎn)外,也將依規(guī)格劃分IC的等級(jí)。在初步測(cè)試階段,包裝后的晶粒將會(huì)被置于各種環(huán)境下測(cè)試其電氣特性,例如消耗功率、速度、電壓容忍度...等。測(cè)試后的IC將會(huì)將會(huì)依其電氣特性劃分等級(jí)而置入不同的Bin中(此過程稱之為Bin Splits),最后因應(yīng)顧客之需求規(guī)格,于相對(duì)應(yīng)的Bin中取出部份IC做特殊的測(cè)試及燒機(jī)(Burn-In),此即為最終測(cè)試。最終測(cè)試的成品將被貼上規(guī)格卷標(biāo)(Brand)并加以包裝而后交與顧客。未通過的測(cè)試的產(chǎn)品將被降級(jí)(Downgrading)或丟棄。